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一直探索,行业争先:电子级硅芯洗濯装备即将交付客户

栏目:重大新闻 宣布时间:2023-09-11
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克日,公司子公司常州捷佳创细密机械有限公司完全自主研发的电子级硅芯洗濯装备乐成下线,将于克日安排至某相助客户处 。 

此款硅芯洗濯装备是一款用于硅料端制程的硅芯的侵蚀洗濯装备,用于洗濯硅芯外貌有机物、氧化物和金属离子,接纳碱洗、酸洗、超声、性能水等工艺,产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程,洗濯后总表金属≤0.2ppbm 。

 主要手艺特点:

1. 质料升级:与德国Rochling协力开发耐氧化,耐高温质料用于槽体制作 。

2. 工艺升级:团结外洋成熟工艺与性能水洗濯工艺,洗濯能力更强 。

3. 内部清洁升级:内部流场的全新设计,搭配更高效FFU、抽风通道及酸碱隔离装置,内部更清洁 。

4. 结构升级:底部龙门式Robot设计,运载更稳固,运动部件爆发的Particle可更快倾轧装备外 。

5. 硅芯载体优化,更稳固的结构,更小的接触面积配合旋转机构,洗濯更彻底 。

6. 制作升级:槽体及槽内零件多接纳折弯制作工艺,镌汰犄角疙瘩及焊接内的藏污纳垢 。

7. 装配升级:全装备设置在千级清洁室生产 。 

恒久以来,电子级硅芯硅料洗濯装备市场份额都被外国厂商占有,人生就是博(中国区)官方网站作为太阳能光伏电池装备行业先进企业及半导体装备制造商,坚持以研发制造先进专业装备,推动海内相关行业生长为己任 。依附雄厚的研发实力及近年来探索泛半导体行业装备开发履历,接连推出多款性能轶群、引领行业的洗濯装备 。此次电子级硅芯硅料洗濯装备研发的历程中,研发职员攻坚克难,突破了诸多要害手艺,为装备的乐成研发涤讪了坚实的手艺基础,并成为海内率先抵达电子级标准的硅芯硅料洗濯装备研爆发产厂商 。现在公司已实现表金属0.5ppbw以上品级的电子级硅料批量出货,2024第一季度将推出0.1ppbw以下的产品 。 

未来,公司将继续承继“手艺领先,治理领先,服务领先”的生长战略,继续精进光伏电池生产装备及半导体湿法洗濯装备研发,并向更辽阔的产品领域和更富厚的手艺蹊径继续生长,为客户提供手艺先进、质量过硬、服务周密的产品 。


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