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管式等离子体多晶硅淀积炉

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管式等离子体多晶硅淀积炉

  手艺特点  Features  

· 隧穿氧化层、i-poly、D-poly 三合一同管完成，镌汰工艺环节，有用提升良率、降低碎片率 。

· 无热壁特征，石英管使用寿命长 。

· 绕镀稍微，易去除 。

· 精准掺杂、可引入其它提效掺杂元素，工艺拓展、提效空间大 。

· 防导通专利手艺 。


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