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板式等离子体增强化学气相沉积装备

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板式等离子体增强化学气相沉积装备

  手艺特点  Features  

· 最小反射功率的快速启辉、匀称稳固大面积成膜 。

· 成熟稳固的多点馈入射频RF 手艺、手艺兼容性和产品升级 。

· 腔体内反应间距可调、无邪的工艺窗口 。

· 大产能低本钱、定制装备结构 。

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