管式等离子体多晶硅淀积炉
管式等离子体多晶硅淀积炉
手艺特点 Features
· 隧穿氧化层、i-poly、D-poly 三合一同管完成 ，镌汰工艺环节 ，有用提升良率、降低碎片率 。
· 无热壁特征 ，石英管使用寿命长 。
· 绕镀稍微 ，易去除 。
· 精准掺杂、可引入其它提效掺杂元素 ，工艺拓展、提效空间大 。
· 防导通专利手艺 。
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管式低压硼扩散炉
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