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管式扩散氧化退火炉

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管式扩散氧化退火炉

  手艺特点  Features   

· 高方阻手艺解决计划 。

· 配套相关专利手艺，可适用于硼扩散工艺 。

· 奇异双嵌套炉门结构 。

· 专利手艺尾气处置惩罚系统 。

· 高速平稳整体模组推舟机构 。

· 智能化全自动控制 。

· 自主知识产权MES软件 。

· 周全的防超温、断偶、撞舟等清静报警�；すπ� 。

· 匹配S.C智能化生产治理系统 。


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