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管式氧化铝原子层淀积炉（边沿钝化）

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管式氧化铝原子层淀积炉（边沿钝化）

  手艺特点  Features  

· 可知足TOPCon 高效电池切片后的边沿钝化处置惩罚。

· 大产能设计，兼容多分片升级，可知足客户定制化需求。

· 实现原子层级膜厚精准控制，膜层匀称性优异。

· 每管反应腔体自力运行，维护周期达季度级别，包管装备高效稳固运行。

· 已通过客户端批量可靠性认证，性能体现优异。




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