手艺特点  Features   

· 产能：600 片/ 批
， 14400 片/ 小时（210 硅片）
；720 片/ 批
， 17280 片/ 小时（182 硅片）
。

· 兼容背面刻蚀抛光及单晶背面制绒工艺
。

· 支持多种添加剂手艺
。

· 支持最薄120μm 硅片
。

· 清洁区域干燥
，自清洁系统
。

· 快速换液
，在线换液
。

· 支持MES、RFID 及选配在线称重功效
。