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槽式RCA洗濯装备

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槽式RCA洗濯装备

  手艺特点  Features  

· 产能：400片/批，9600片/小时（210硅片）,480片/批，12000片/小时（182硅片）。

· 支持多种添加剂手艺。

· 支持最薄120μm硅片。

· 清洁区域干燥，自清洁系统。

· 快速换液，在线换液。

· 支持MES、RFID及选配在线称重功效。

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