克日,人生就是博(中国区)官方网站再传重磅突破,公司自研TGV单片洗濯装备乐成取得海内TGV头部企业量产订单,首次将成熟半导体单片洗濯手艺落地超薄玻璃基板赛道,补齐国产TGV细密洗濯要害装备领域短板,助力先进封装装备国产化提速。

该装备接纳单片式洗濯架构,搭配性能水工艺,可同步清洁基板外貌与边沿,深度扫除盲孔、通孔内颗粒与有机物,对1μm以上颗粒的去除率超99%。同时,装备搭载伯努利非接触吸盘,有用降低基板碎片率至10ppm以下,可适配80μm超薄玻璃加工;上下料分区接纳百级清洁管控,杜绝基板二次污染。
此次订单落地,标记着公司湿法装备手艺乐成从晶圆、PCB延伸至TGV玻璃基板领域,为超薄基板洗濯打造了全新国产化计划。这不但彰显了海内半导体装备企业的焦点自研实力,也为2.5D/3D先进封装工业链自主可控提供主要支持。