全自动石墨舟装卸片机
全自动石墨舟装卸片机
手艺特点 Features
· 装备�？榛杓�，内部相似结构零部件高度统一，便于备件治理。
· 接纳触摸屏+PLC 控制，操作界面精练明晰。
· 接纳小舟流转装卸逻辑，产能高: ≥ 8000 片/ 小时(182mm 硅片)。
· 设置机台内部最高权限暂停功效，充分提升机台清静冗余。
· 可设置行业主流检测装备（选配功效），提升制成良率。
· 可搭配AGV，RFID 实现花篮和工艺载具全自动调理追溯，并且可通过链接MES 实现花篮和工艺载具车间级治理和调理。
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多功效薄膜沉积装备(SPE)
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全自动石英舟装卸片机
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