手艺特点 Features  

· 集成热蒸镀（VED）、磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD) 镀膜
；一台SPE装备知足钙钛矿薄膜镀膜需求，等同三台装备产能。

· 一连真空镀膜，镌汰基板装/卸及膜层袒露大气次数，有利于器件效率提升。

· 装备占地面积需求缩小40%，装备本钱降低30%。

· 应用于钙钛矿、HJT、HBC光伏/ 面板显示/芯片/锂电池等行业。