4腔单晶圆水平电镀工艺装备
4腔单晶圆水平电镀工艺装备
手艺特点 Features
· 片内匀称性：＜4%，片间匀称性：＜3%，重复性：＜3%，COP：＜10?m 。
· 90%部件本土化，外地软件团队，有自力的设计和专利 。
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光罩洗濯装备
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16腔单晶圆水平电镀量产装备
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