光罩洗濯装备
光罩洗濯装备
手艺特点 Features
· 正面Force down Brush、rinse ，背面pellical氮气�；� 。
· PA adder, 0.3?m ≤10ea ，适用天车料盒、运输料盒 。
· 100%部件本土化 ，外地软件团队 ，有自力的设计和专利 。
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TBC太阳能电池智能生产线
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4腔单晶圆水平电镀工艺装备
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