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磁控溅射镀膜装备(PVD)

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磁控溅射镀膜装备(PVD)

  手艺特点 Features  

· 低损工艺、低温工艺、低阻&高透、高温工艺≥300 ℃ 。

· 产品系列从研发装备至量产装备周全结构 。

· 立式传送&卧式传送 。

· 应用于钙钛矿、HJT、HBC光伏/面板显示/芯片/锂电池等行业 。


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